中国电科实现国产离子注入机28纳米工艺全覆盖
新华社北京6月29日电(记者温竞华)记者29日从中国电子科技集团有限公
(资料图)
新华社北京6月29日电(记者温竞华)记者29日从中国电子科技集团有限公司获悉,该集团旗下中电科电子装备集团有限公司(简称电科装备)已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖,有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。
研发人员正在调试离子注入机。(中国电科供图)
离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能,这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中,离子注入机就是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
当前,28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。据介绍,电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术,形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局,实现了28纳米工艺制程全覆盖,切实保障国产芯片生产制造。
据了解,作为国内最早从事离子注入设备研制及产业化的企业,电科装备已具备从产品设计到量产应用的完整研制体系,产品涵盖逻辑器件、存储器件、功率器件、传感器等工艺器件,百台设备广泛应用于国内各大集成电路先进产线,累计流片2000万片,有力提升我国产业链供应链韧性和安全水平。
关键词:
[ 相关文章 ]
新华社北京6月29日电(记者温竞华)记者29日从中国电子科技集团有限公
2023年4月西安海关进出口总额为403017 8万美元,其中:出口额为271847
国小镇无敌版小游戏,三国小镇无敌版有没有这个问题很多朋友还不知道,
西安市雁塔区漳浒寨社区卫生服务中心因业务开展需要,特面向社会招聘以
截至6月28日,国家能源集团广东公司年累计发电量达177 31亿千瓦时,超
23穗自来水SCP002票面利率为2 2200%
1、波德申美兹拉酒店位于波德申。2、是家1星级酒店。本文关于波德申美
1、推荐理由:200年前,童话大师安徒生的诞生成就了这个世界最令人惊奇
【专题】甘肃省体育彩票管理中心责任凝聚,坚守初心使命;微光筑梦
据报道,丰田将在没有斯巴鲁帮助的情况下开发第三代车型。日本的一份新
郝女士认为自己购买的这辆江淮货车开了并没有多久就出现了这样的情况,
截至2023年6月28日收盘,东莞控股(000828)报收于9 38元,上涨2 74%,换
极地冰川融化会将远古病原体释放出来吗?,被冰封的病原体还记得电影《
深圳海关近日透露,今年前5个月,深圳累计进出口1 36万亿元,同比增长
据三峡集团福建公司执行董事、党委书记雷增卷介绍,本次吊装的全球首台
韩国队中还有效力WNBA身高1米98的朴智秀,在进入WNBA前她砍下过14 2分1
其中,领头羊广西平果哈嘹在15996名球迷的呐喊声中,凭借安永佳、吕品
来为大家解答以上的问题。曾泽,泽介绍这个很多人还不知道,现在让我们
1、艾辰目前并未公开说出自己的名字。2、虽然未公布姓名,但艾辰可是全
湖北日报讯(记者张倩倩、通讯员许怡晨)历经多年城市更新,武汉百年老
[ 相关新闻 ]
Copyright 2015-2022 太平洋医院网 版权所有 备案号:豫ICP备2022016495号-17 联系邮箱:93 96 74 66 9@qq.com